经过大幅更新的弗吉尼亚理工大学微/纳米制造洁净室和实验室开启了半导体创新的新时代。这一切都要归功于SPTS Technologies时任首席执行官 年捐赠的价值 300 万美元的半导体加工和制造设备。“作为一名校友，我一直想回馈社会，”弗吉尼亚理工大学航空航天与海洋工程系的克罗夫顿说。“我觉得弗吉尼亚理工大学不仅有机会成为半导体行业所需的先进研发中心，而且还有机会成为培养人才和扩大大学影响力的中心。凭借非常现代化的洁净室，弗吉尼亚理工大学将有机会站在材料工程和
设备工艺应用的前沿，以满足人工智能、高性能计算和新兴技术需求。”
随着最近的升级，实验室扩展到了第二个地点：纳米级表征-制造实验室，该实验室由弗吉尼亚理工大学企业研究中心的关键技术和应用科学研究所支持和管理 。洁净室已经拥有用于蚀刻、热处理和设备封装的机器，实验室的新设备包括：
- JEOL JBX 8100FS 电子束光刻系统是一款尖端仪器，利用精确的电子束在计算机芯片和其他表面上创建精细的图案。该系统位于企业研究中心。
- Kurt J. Lesker 等离子增强原子层沉积系统，一种利用特殊化学品创建原子控制的薄材料层的机器。
- DELTA PECVD，一种化学气相沉积工具，可沉积二氧化硅和氮化硅等高质量绝缘薄膜。
- 两种独立的材料蚀刻机：OMEGA ICP 蚀刻机和Rapier DRIE。前者使用非常热的带电等离子体蚀刻氧化物、氮化物和其他材料，而后者则专为高速硅蚀刻而设计。
“SPTS Technologies 和 Kevin Crofton 慷慨支持我们获得这些最先进的设备，有力地证明了校友参与对大学发展轨迹的深远影响，”洁净室教务主任、布拉德利电气与计算机工程系副教授Wei Zhou表示。“这种合作关系体现了我们共同致力于突破知识界限和培养下一代领导者的承诺。它将点
我们学生的灵感火花，展示投资社区的变革力量。”
除了设备之外，位于惠特莫尔大厅的洁 了解英国商誉会计概况 净室也进行了现代化改造；通风、气体输送和水冷系统都经过了精心升级。这些系统对于维持稳定的温度、纯净的空气过滤和通风至关重要，而这些对于精密的半导体制造来说是必不可少的。
电子束光刻系统内部特写。照片由弗吉尼亚理工大学的 Eric Carlson 拍摄。
电子束光刻系统将在这一过程中发挥重 电话号码 sg 要作用。作为国内最先进的光刻仪器之一，它使研究人员能够以前所未有的精度制作复杂的纳米结构，释放出纳米技术变革性突破的潜力。
- 量子计算：利用量子力学原理进行计算的技术，比传统计算机更快。量子计算有许多未来应用，包括机器学习和密码学。
- 纳米光子学：纳米级光的研究和操控。纳米光子学用于传感器、太阳能电池和激光器。
- 微电子：小规模电子电路的设计和制造。它们应用于计算机、智能手机、医疗设备、汽车和工业自动化。
经过多年的努力来更新洁净室
，周先生迫切希望学生、教师和研究人员能够从这些先进的设备和设施中受益。西南弗吉尼亚州的高中学生已经能够作为UPWARDS 2024 夏令营的一部分来探索洁
净室，该夏令营旨在鼓励年轻女性加入半导体行业。
周教授表示：“如此强大的工具出现在我们的校园里，代表着我们的研究能力有了质的飞跃。洁净室促进了协作生态系统，我们的目标是加速创新、推动经济增长和应对社会面临的重大挑战。洁净室将成为下一代创新者的训练场，为他们提供技能和知识，让他们真正改变世界。”
